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產(chǎn)品中心

PRODUCTS

AS200系列氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數

流量規格

（Air、O2、N2）

(1~100，2~200，3~300) SCCM

(0.03～3，0.05~5，0.1~10，0.2~20，0.3~30，0.5~50，1~100，2~200) SLM

流量規格

（Ar、CO2）

(1~100，2~200，3~300) SCCM

(0.03～3，0.05~5，0.1~10，0.2~20，0.3~30，0.5~50，1~100) SLM
線(xiàn)性 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
響應時(shí)間 1sec；≤2sec
準確度

±1.0%S.P.（≥35%F.S.）

±0.35%F.S.（＜35%F.S.）

±1.0%F.S.

工作環(huán)境溫度 5~45℃
電源
+15～ +28 VDC 
重量 約0.95Kg；2.56Kg
產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)下載

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AS200系列氣體質(zhì)量流量控制器，適用于多種常規氣體，提高了氣體質(zhì)量流量控制測量結果的準確度及可靠性。重復精度高達±0.2%F.S.；1×10 -10 Pa·m3 /sec He的低泄露率，氣密性好，保障生產(chǎn)安全；可支持多種信號輸出，包括數字信號、1～5V 模擬信號以及4～20mA模擬信號，可以使用單電源（+15～+28 VDC），適用于不同的工作場(chǎng)景；標準開(kāi)放的通訊協(xié)議為客戶(hù)自行開(kāi)發(fā)控制、采集軟件提供便利；同時(shí)，產(chǎn)品還提供功能強大的免費客戶(hù)端上位機軟件，方便用戶(hù)調試操作。 

AS200系列產(chǎn)品是奧松電子采用先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器的驅動(dòng)，零點(diǎn)漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨特的技術(shù)，保證了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)和高可靠性，是一款穩定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優(yōu)質(zhì)儀器。 



二、產(chǎn)品亮點(diǎn)

● 可同時(shí)支持數字信號，1～5V 或4～20mA模擬信號

● 使用單電源（+15～+28 VDC）

● 支持自動(dòng)故障報警，多氣體多量程等功能


三、應用場(chǎng)景

AS200系列氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括：集成電路工藝設備，如外延、擴散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設備；其他行業(yè)設備，如光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量?jì)x、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

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