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隨著(zhù)生物醫療、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G網(wǎng)絡(luò )等新興信息技術(shù)發(fā)展，傳統制造業(yè)將會(huì )借助于新技術(shù)進(jìn)一步轉型升級。MEMS半導體傳感器芯片在智能物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代中起到核心作用，智能傳感器產(chǎn)業(yè)已成為推進(jìn)傳統工業(yè)轉型升級的關(guān)鍵，這對粵港澳大灣區、乃至我國的經(jīng)濟發(fā)展、產(chǎn)業(yè)結構優(yōu)化具有重大的戰略意義。

2020年，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)正式投入運營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片，并為部分珠三角客戶(hù)提供MEMS半導體芯片代工服務(wù)。該生產(chǎn)線(xiàn)的建成投產(chǎn)標志奧松電子成為華南地區領(lǐng)先的MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)基地，推動(dòng)國內、特別是粵港澳大灣區的MEMS半導體傳感器高質(zhì)量發(fā)展奠定了良好的基礎。

奧松電子斥巨資打造MEMS半導體芯片生產(chǎn)線(xiàn)，一期工程凈化車(chē)間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區、百級潔凈度光刻區、千級潔凈度鍍膜區、千級潔凈度刻蝕區、千級潔凈度離子注入區及參觀(guān)通道等。整個(gè)潔凈車(chē)間安裝了多套高性能風(fēng)淋系統，對進(jìn)入潔凈間的員工或者貨物進(jìn)行徹底風(fēng)淋除塵。

該生產(chǎn)線(xiàn)一期工程于2019年3月立項，2019年6月正式進(jìn)入施工階段。經(jīng)過(guò)6個(gè)月的施工，生產(chǎn)線(xiàn)的基礎設施已安裝完成。2020年，多臺步進(jìn)式投影光刻機、雙面光刻機、涂膠顯影機、深硅刻蝕機、大束流離子注入機、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機、探針臺、應力測試儀、全自動(dòng)RCA清洗機等先進(jìn)的自動(dòng)化生產(chǎn)設備搬入，生產(chǎn)線(xiàn)正式投入運營(yíng)。

奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個(gè)投資規模的70%。一期工程已成功量產(chǎn)出溫濕度傳感器、空氣質(zhì)量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優(yōu)質(zhì)的芯片產(chǎn)品。根據規劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規模將達到4萬(wàn)片，滿(mǎn)足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區各類(lèi)MEMS半導體芯片的代工需求。

隨著(zhù)物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的到來(lái)，珠三角經(jīng)濟區作為中國最重要的制造基地之一，一直走在時(shí)代的前列?！痘浉郯拇鬄硡^發(fā)展規劃綱要》政策落實(shí)后，廣州作為廣東省省會(huì )城市和經(jīng)濟中心、一帶一路新亞歐大陸經(jīng)濟走廊主要節點(diǎn)城市和海上合作戰略支點(diǎn)，優(yōu)勢地位不斷得到提升。奧松電子立足廣州，在MEMS半導體傳感器領(lǐng)域打破了國外企業(yè)的壟斷，實(shí)現國產(chǎn)替代進(jìn)口，勇?lián)鷼v史使命，為粵港澳大灣區建設貢獻自己的一份力量。